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Notiziario Marketpress di
Giovedì 15 Luglio 2004
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AIR LIQUIDE: NUOVA SOLUZIONE ON SITE A BASE DI FLUORO PER L’INDUSTRIA DEI SEMICONDUTTORI |
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Milano, 15 luglio 2004 - Air Liquide ha sviluppato Flora, una nuova soluzione on-site a base di fluoro, per la pulizia delle apparecchiature delle industrie dei semiconduttori. Flora è un'alternativa sicura, certa ed efficace all’utilizzo di prodotti chimici liquidi. La pulizia mediante fluoro gassoso riduce significativamente il tempo di pulizia, migliora la riproducibilità e l'affidabilità del processo, ottimizza il costo di lunga durata riducendo il costo di quarzo come materiale di consumo. Attraverso Flora, Air Liquide fornisce una soluzione completa che va dal rifornimento del cilindro del fluoro alla produzione e manutenzione on-site del fluoro, compresa tutta la necessaria apparecchiatura. Questo progetto è stato ideato da Tokyo Electron Limited (Tel); leader mondiale negli equipaggiamenti per processi di semiconduttori, per il loro apparecchio chiamato Telformula. Dal 2002, Flora F100, un generatore on-site, fornisce fino a 40L/hr di gas di fluoro per la pulizia di diversi equipaggiamenti . Tel ha omologato Flora F100 per il suo sistema di pulizia con fluoro. Christophe Fontane, direttore attività elettronica di Air Liquide ha dichiarato: "Grazie a questa tecnologia innovatrice e grazie alla posizione di leadership nel settore dei servizi on-site nell'industria dei semiconduttori, Air Liquide ha dimostrato la sua capacità di introdurre nuove soluzioni integrate nel mercato. Flora è la soluzione ideale per disporre di fluori in modo sicuro ed affidabile”. Yasuyuki Kuriki, vice presidente e direttore generale di Thermal Processing System Bu (Tel) ha dichiarato: "Tel ha sviluppato un processo di pulizia al fluoro per Telformula utilizzando il sistema di produzione del fluoro on-site sviluppato da Air Liquide e siamo molto soddisfatti dal livello di servizi che Air Liquide ci ha fornito per molti anni. Il know how di Air Liquide ci ha anche permesso di migliorare il processo industriale. Crediamo che il fluoro diventerà un nuovo ed efficiente metodo di pulizia per la nostra industria”.
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